156.75*156.75單晶硅片：
一般特征 | 參數 |
產品 | 單晶硅片 |
晶體生長方法 | 直拉法 |
導電類型 | P 型 |
摻雜劑 | 鎵 |
電阻率 | 0.4-1.1 Ω.cm |
氧含量 | ≤ 8E + 17 at/cm 3 |
碳含量 | ≤ 4E + 16 at/cm 3 |
結構特征 | 參數 |
寬度 | 156.75 ± 0.25 mm |
倒角對角線 | 210 ± 0.25 mm |
厚度 | 180 ± 20 μm |
機械特性 | 參數 |
總厚度變化 | ≤ 30 μm |
彎曲度 | ≤ 40 μm |
表面 | 無缺陷 |
鋸痕 | ≤ 15 μm |
166*166單晶硅片：
一般特征 | 參數 |
產品 | 單晶硅片 |
晶體生長方法 | 直拉法 |
導電類型 | P 型 |
摻雜劑 | 鎵 |
電阻率 | 0.4-1.1 Ω.cm |
氧含量 | ≤ 8E + 17at/cm 3 |
碳含量 | ≤ 4E + 16 at/cm 3 |
結構特征 | 參數 |
寬度 | 166 ± 0.25 mm |
倒角對角線 | 223 ± 0.25 mm |
厚度 | 180 ± 20 μm |
機械特性 | 參數 |
總厚度變化 | ≤ 30 μm |
彎曲度 | ≤ 40 μm |
表面 | 無缺陷 |
鋸痕 | ≤ 15 μm |
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