一般特征 | 參數(shù) |
產(chǎn)品 | 多晶硅片 |
晶體生長方法 | 定向凝固 |
導電類型 | P 型 |
摻雜劑 | 硼 |
電阻率 | 1-3 Ω.cm |
氧含量 | ≤ 8 × 10 17 atoms/cm 3 |
碳含量 | ≤ 4 × 10 17 atoms/cm 3 |
結構特征 | 參數(shù) |
寬度 | 156.75 ± 0.25 mm |
倒角對角線 | 1.5 ± 0.5 mm |
倒角角度 | 45° ± 10° |
厚度 | 180 ± 20 μm; 200 ± 20 μm |
機械特性 | 參數(shù) |
總厚度變化 | ≤ 30 μm |
彎曲度 | ≤ 50 μm |
表面 | 無缺陷 |
鋸痕 | ≤ 15 μm |
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