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硅料大的分電子級和太陽能級，國內基本都是太陽能級。太陽能級硅在半導體工業(yè)上主要有Siemens和流化床FBR(Fludized Bed Ractor)來制備高純多晶硅材料,Siemens采用高純SiHCl3作為原料，而FBR是采用SiH4為原料。太陽能級又有原生多晶硅料、原生單晶硅料。

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